| Kiadó: | Országos Műszaki Információs Központ és Könyvtár |
|---|---|
| Kiadás helye: | Budapest |
| Kiadás éve: | |
| Kötés típusa: | Tűzött kötés |
| Oldalszám: | 48 oldal |
| Sorozatcím: | Mikroelektronikai technológiai füzetek |
| Kötetszám: | 4 |
| Nyelv: | Magyar |
| Méret: | 23 cm x 16 cm |
| ISBN: | 963-592-545-x |
| Megjegyzés: | Fekete-fehér ábrákkal. |
| Bevezetés | 7 |
| Ohmikus kontaktus és Schottky-dióda | 8 |
| A fémhálózattal szemben támasztott követelmények | 15 |
| A fémrétegfelvitel fizikai módszerei | 30 |
| A fémgőzölés elvi alapjai | 31 |
| A fémgőzölés módszerei | 35 |
| Vákuumpárologtatás | 35 |
| Fémezési rendszerek | 40 |
| Alumínium és alumíniumötvözet fémezés | 40 |
| Többrétegű fémezés | 42 |
| Többszintű fémezés | 43-48 |
Nincs megvásárolható példány
A könyv összes megrendelhető példánya elfogyott. Ha kívánja, előjegyezheti a könyvet, és amint a könyv egy újabb példánya elérhető lesz, értesítjük.