| Kiadó: | Országos Műszaki Információs Központ és Könyvtár |
|---|---|
| Kiadás helye: | Budapest |
| Kiadás éve: | |
| Kötés típusa: | Tűzött kötés |
| Oldalszám: | 92 oldal |
| Sorozatcím: | Mikroelektronikai technológiai füzetek |
| Kötetszám: | 5 |
| Nyelv: | Magyar |
| Méret: | 23 cm x 16 cm |
| ISBN: | 963592-577-8 |
| Megjegyzés: | Fekete-fehér ábrákkal. 500 példányban készült. További kapcsolódó személyek a folyóiratban. |
| Integrált áramköri maszkok technológiája | 7 |
| A maszkkészítés anyagai, kémiai technológiája | 8 |
| Hordozó | 9 |
| A maszkhordozók fontos mechanikai jellemzői: méret, síkbeliség, vastagság | 10 |
| Bevonat | 13 |
| Fotoreziszt | 16 |
| Processzálás | 17 |
| Ábragenerálás, optikai ábragenerátorok | 23 |
| Léptetés-optikai léptetőkamerák | 25 |
| A léptetőkamerák felépítése és működése | 27 |
| Fotomaszkok ellenőrzése és javítása | 32 |
| Fotomaszkok ellenőrzése | 32 |
| Fotomaszkok javítása | 42 |
| Elektronsugaras képátviteli technológia | 46 |
| Raszgterpásztázó rendszerek | 47 |
| Vektorpásztázó rendszerek | 47 |
| Rendszertípusok | 49 |
| Optikai kontra elektronlitográfia | 50 |
| Irodalom | 52 |
| Optikai litográfia | 55 |
| A fotolitográfiás ábrakialakítás módszerei | 56 |
| Maszkillesztő berendezések | 62 |
| A fotoreziszt lakkok tulajdonságai | 63 |
| Fényérzékeny lakkok jellemzése | 68 |
| A fotolitográfiás technológia | 70 |
| Többrétegű litográfiás eljárások | 72 |
| Irodalom | 75 |
| Elektronlitográfia | 77 |
| Bevezetés | 77 |
| Az elektronsugár és a lakkok kölcsönhatása | 77 |
| Elektronlitogfáriai rendszerek | 80 |
| Alkalmazások | 83 |
| Irodalom | 84 |
| Röntgenlitográfia | 85 |
| A felbontóképességet befolyásoló tényezők | 85 |
| Röntgenlitográfiás rendszerek | 87 |
| Röntgen-maszkok | 88 |
| Röntgen-sugárzásra érzékeny lakkok | 89 |
| Röntgen- és elektronsugárzásra érzékeny lakkok | 89 |
| Irodalom | 92 |
Nincs megvásárolható példány
A könyv összes megrendelhető példánya elfogyott. Ha kívánja, előjegyezheti a könyvet, és amint a könyv egy újabb példánya elérhető lesz, értesítjük.
Folytatás Microsoft-tal