| Előszó | 9 |
| Bevezetés (Írta: dr. Masszi Ferenc) | 11 |
| A mikroelektronika fejlődésének legfontosabb következményei | 11 |
| Az integrált áramkörök fejlődése, a fejlődés korlátai | 15 |
| A VHSIC program | 23 |
| A program célkitűzései | 23 |
| A program ütemezése | 26 |
| A VLSI dáramkörök megjelensésének hatása az elektronika néhány területére | 26 |
| Mikroprocesszorok, mikrogépek | 26 |
| Hírközlő rendszerek | 29 |
| Igen nagy sebességű áramkörök | 31 |
| Irodalom | 34 |
| Technológia és konstrukció (Írta: dr. Masszi Ferenc) | 35 |
| Nagybonyolultságú integrált áramkörök gyártásának technológiai problémái | 35 |
| A szilícium alapanyag | 36 |
| Új fotolitográfia | 37 |
| Szárazmarási módszerek | 39 |
| Újfajta szigetelőrétegek | 42 |
| Többrétegű reziszt-technika | 42 |
| Lézeres hőkezelés | 43 |
| Nemoptikai ellenőrző rendszerek alkalmazása | 44 |
| Technológiák, logikaiáramkör-rendszerek bipoláris (V)LSI áramkörökhöz | 45 |
| Nagybonyolultságú, bipoláris integrált áramkörök alapelemei | 46 |
| I2L áramkörök | 50 |
| ECL áramkörök | 56 |
| Nagybonyolultságú MOS áramkörrendszerek | 58 |
| MOS tranzisztor és nMOS alaptechnológia | 58 |
| Rövid csatornájú MOS tranzisztorok | 60 |
| MOS digitális alapáramkörök | 67 |
| Dinamikus alapáramkörök | 76 |
| Speciális MOS tranzisztorok nagybonyolultságú integrált áramkörök számára | 83 |
| Nagybonyolultságú integrált áramkörök számítógépes tervezési módszerei | 85 |
| Áramkörszimuláció | 88 |
| Logikai szimuláció | 90 |
| A számítógéppel segített layout tervezés | 94 |
| Félvezető tárak | 98 |
| Dinamikus MOS tárolócellák | 98 |
| töltéscsatoslt (CC) cella | 109 |
| Nagykapacitású (Hi-C) cella | 110 |
| Többszintes (STC) cella | 112 |
| VMOS cella | 113 |
| Átszúrásos RAM cellák | 114 |
| Eltemetett bitvezetékes (BBL, buried bit line) cella | 115 |
| Rétegezett töltésű (SCM, statified charge memory) cella | 116 |
| Fokozatosan elvékonyodó szigetelésű, dinamikus erősítésű (TIDG) cella | 117 |
| A különböző különleges cellák összehasonlítása | 118 |
| Berendezésorientált áramkörök | 120 |
| Full custom (egyedi tervezésű) áramkör | 121 |
| Library custom (előtervezett cellákból felépített) áramkörök | 122 |
| Félkész berendezésorientált áramkörök (semi custtom) | 123 |
| VLSI áramkörök tesztelhetőségre tervezése | 123 |
| A tesztelhetőség | 123 |
| A tesztelhetőség analízise és mérése | 124 |
| A tesztelhetőség számítása | 124 |
| A tesztelhetőségre tervezés módszerei | 129 |
| Önellenőrzés (self verification) | 134 |
| Irodalom | 135 |
| Tesztelés (Írta: dr. Szamosközi Zoltán) | 137 |
| A tesztelés problémaköre | 137 |
| Szintek | 138 |
| Költségek | 139 |
| Módszerek | 140 |
| RAM-ellenőrző algoritmusok | 142 |
| HIbamodellek | 143 143 |
| Lépésszám | 145 |
| Realizálhatóság | 156 |
| A vizsgálatok összeállítása | 158 |
| Fixtárak ellenőrzése | 167 |
| Az etalonvizsgálat | 170 |
| Tárolt mintás vizsgálat | 171 |
| Adatkompressziós módszerek | 172 |
| Az adattárolási idő ellenőrzése | 179 |
| A módszerek alkalmazása | 180 |
| Mikroprocesszorok vizsgálati módszerei | 181 |
| Hibaosztályok | 182 |
| Mérési stratégia | 185 |
| Diagnosztikai tesztek | 189 |
| Mintagenerálási lehetőségek | 193 |
| Néhány példa | 194 |
| A tesztelés ára | 198 |
| Az áramkörök gyártási költsége | 199 |
| A tesztelési költség modellezése | 202 |
| Mintapéldák a tesztelés költségtényezőinek számítása | 205 |
| Irodalom | 208 |
| LSI-VLSI mérőrendszerek (Írta: dr. Szamosközi Zoltán) | 215 |
| Alapkövetelmények és alapstruktúrák | 215 |
| Az áramkör és a mérőrendszer-jellemzők kapcsolata | 215 |
| A mérési módszerek és a mérőrendszer-jellemzők kapcsolata | 218 |
| A mérőrendszerek általános felépítése | 219 |
| Univerzális és célorientált mérőrendszerek | 222 |
| Általános jellemzők | 222 |
| Mintagenerátor | 226 |
| Időzítőegység | 243 |
| Pinelektronika-vezérlő | 262 |
| DC egység | 273 |
| Dinamikus paraméterek mérése | 279 |
| Számítógép és perifériák | 281 |
| Kiegészítő információk | 284 |
| Egyszerű teszterek | 288 |
| Kiegészítő eszközök | 293 |
| Szoftver szolgáltatások | 295 |
| Alapszoftver | 298 |
| Mérőprogram készítésének támogatása | 300 |
| Statisztikai programok | 301 |
| Rendszerteszt | 302 |
| A megbízhatóságvizsgálat eszközei | 303 |
| A megbízhatatlanság okai | 305 |
| Burn-in teszterek | 308 |
| A hazai eredmények és a szocialista országokból beszerezhető eszközök | 314 |
| Az első generáció | 315 |
| A második generáció | 333 |
| A harmadik generáció | 335 |
| Példák megvalósított LSI-VLSI áramkörökre (Írta: dr. Masszi Ferenc) | 343 |
| 16 bites mikroprocesszorok | 343 |
| Az Intel 8086 | 344 |
| A Zilog Z 8001 és Z 8002 | 365 |
| Berendezésorientált integrált áramkörök | 390 |
| Az U 400 típusú gate array | 390 |
| GA 800 típusú gate array | 393 |
| Irodalom | 399 |
| Tárgymutató | 401 |