Szigetelő alapú integrált áramkörök konstrukciója és technológiája

Tartalom

1. Bevezetés 7
Az elektronika miniatürizálódási folyamata 7
SZIGETELŐ ALAPÚ HIBRID INTEGRÁLT ÁRAMKÖRÖK KONSTRUKCIÓJA ÉS TECHNOLÓGIÁJA 19
2.1 Szigetelő alapú integrált áramkörök felépítése 19
2.1.1 Vékonyréteg integrált áramkörök felépítése 19
2.1.2 Vastagréteg integrált áramkörök felépítése 20
2.2 A szigetelő alapú integrált áramkörök hordozói 23
2.3 Szigetelő alapú integrált áramköri alkatrészek 29
2.3.1 Vékonyréteg integrált áramköri ellenállások 29
2.3.2 Vastagréteg integrált áramköri ellenállások 38
2.3.3 Vékonyréteg integrált áramköri kondenzátorok 44
2.3.4 Vastagréteg integrált áramköri kondenzátorok 54
2.3.5 Vékonyréteg áramköri huzalozás és kontaktus rétegek 57
2.3.6 Vastagréteg áramköri huzalozás és kontaktus rétegek 59
2.3.7 Speciális vastagréteg áramköri réteganyagok 63
2.4 Vékonyrétegek előállítása 66
2.4.1 Vákuumgözölés 66
2.4.1.1 Vákuumgőzölés fizikai alapjai 66
2.4.1.2 Vákuumgőzölő berendezések felépítése 70
2.4.1.3 Gőzforrások 73
2.4.1.4 Ötvözetek, vegyületek vákuumgőzölése 80
2.4.2 Katódporlasztás 82
2.4.2.1 A. katódporlasztás fizikai alapjai és típusai 82
2.4.3 Vékonyrétegek kiépülése és szerkezete 89
2.5 Vastagréteg integrált áramkörök rétegfelviteli technológiája 91
2.5.1 Szitakészités és szitanyomtatás 92
2.5.2 Rétegek beégetése 99
2.6 A szigetelő alapú integrált áramkörök topológiája, mesterrajzok és fotók készítése 102
2.6.1 Topológia 102
2.6.2 Mesterrajzok és fotók készítése 108
2.7 Vékonyréteg integrált áramkörök maszkolási technológiája 117
2.8 A. szigetelő alapú integrált áramkörök passzív alkatrészeinek
utólagos értékbeállítása 128
2.8.1 Vékonyréteg áramköri passzív alkatrészek utólagos értékbeállítása 128
2.8.2 Vastagréteg áramköri passzív alkatrészek utólagos értékbeállítása 131
2.9 Szigetelő alapú integrált áramkörök hibrid elemei 135
2.9.1 Aktív hibrid elemek 136
2.9.2 Passzív hibrid elemek 143
2.10 Szigetelő alapú integrált áramkörök szerelési és tokozási technológiája 147
2.10.1 Kötési technológia 148
2.10.2 Kivezető lábrendszer 153
2.10.3 Tokozási technológia 155
2.11 Szigetelő alapú integrált áramkörök gyártástechnológiájának összefoglalása 169
2.11.1 Vékonyréteg integrált áramkörök gyártástechnológiájának összefoglalása 169
2.11.2 Vastagréteg integrált áramkörök gyártástechnológiájának összefoglalása 171
3. MAGYARORSZÁGON GYÁRTOTT HIBRID ÁRAMKÖRÖK 175
3.1 Vastagréteg integrált áramkörök 176
3.2 Vékonyréteg integrált áramkörök 185
IRODALOM 195

Témakörök