| Előszó | 11 |
| Jelölések | 15 |
| Munkafeltételek és a vákuumtisztaság követelményei az elektronikai ipar vállalatainál | 19 |
| A munka feltételei | 19 |
| Az elektronikai-vákuumtechnikai tisztaság | 22 |
| A gyártóhelyiségek osztályba sorolása | 22 |
| A gyártási környezet jellemzői az I. és II. kategóriájú gyártóhelyiségekben | 24 |
| Az alkatrészek és a félkész gyártmányok raktározási feltételei | 25 |
| A berendezések üzemeltetési feltételei az I. és II. kategóriájú helyiségekben | 25 |
| Gázok alkalmazása, gázszolgáltatás | 27 |
| Az elektroncsőgyártásban használatos éghető gázok | 27 |
| Természetes gázok | 27 |
| Mesterséges gázok | 28 |
| Az éghető gázok fontosabb tulajdonságai | 29 |
| Gázégők | 31 |
| Lánggal működő égők | 31 |
| Láng nélkül működő égőfejek | 34 |
| Gázvezetékek és gázkészülékek | 36 |
| Gázvezetékek | 37 |
| Csőszerelvények | 37 |
| Az üveg megmunkálása nagy hőmérsékleten | 45 |
| A műszaki üvegek tulajdonságai | 45 |
| Az üveg termikus tulajdonságai | 45 |
| A hőtágulási együttható | 45 |
| Hőállóság | 46 |
| A viszkozitás függése a hőmérséklettől | 47 |
| Az üveg elektromos és kémiai jellemzői | 47 |
| Az üveg elektromos vezetőképessége | 47 |
| Az üveg kémiai ellenállóképessége | 47 |
| Az üveg gázáteresztő képessége | 48 |
| A műszaki üveggyártmányok jellemzői | 48 |
| Az üveg forrasztása | 52 |
| Az üveg különböző anyagokkkal való forrasztásának alapjai | 52 |
| Üvegforrasztási eljárások | 56 |
| Illesztett és illesztetlen szél-, ill. élforrasztások | 57 |
| Sajtoló-, tárcsás, ablakos forrasztások | 57 |
| Egyszeres bevezetések beforrasztása | 58 |
| Az üveg és a forrasztások megeresztése | 60 |
| Üvegfúvás | 62 |
| Az üvegfúvó munkahelye | 62 |
| A gázégő meggyújtása és kioltása | 63 |
| Kvarcüveggel végzett forrasztások | 64 |
| Vákuumtechnikai alapfogalmak | 66 |
| A gáz és a gőz fogalma | 66 |
| A gázok és gőzök nyomása | 67 |
| A vákuum fogalma | 68 |
| A molekulák átlagos szabad úthossza | 68 |
| Nagy- és kisvákuum | 69 |
| A gázok viselkedése a kis- és nagyvákuumos körülmények között | 70 |
| A gázmolekulák hőmozgása | 70 |
| A gázok kölcsönös diffúziója | 71 |
| Az anyagok elpárolgási sebessége | 72 |
| Gázok állapotegyenlete. Gáztörvények | 73 |
| Az ideális gázok állapotegyenlete | 73 |
| Gáztörvények | 74 |
| A gáztörvények alkalmazhatósága gőzökre | 76 |
| A vákuumszívatás fogalma, és e folyamat legfontosabb jellemzői | 76 |
| Általános fogalmak | 76 |
| A vákuumfolyamat fontosabb jellemzői | 78 |
| A szívóteljesítmény (gázáram) | 78 |
| A térfogatáram (szívósebesség) | 78 |
| A csővezeték ellenállása és átbocsátóképessége | 79 |
| A vákuumtechnika alapegyenlete | 80 |
| A szívási idő | 81 |
| Vákuumban áramló gázok, gőzök áramlási típusai | 82 |
| A nyílások és a csővezetékek átbocsátóképessége | 84 |
| Átbocsátóképesség lamináris áramlási állapotban | 86 |
| Átbocsátóképesség molekuláris-lamináris áramlási állapotban | 87 |
| Ellenőrző-mérő készülékek az elektronikai termékek gyártásában | 90 |
| Vákuummérők, nyomásmérők | 90 |
| Vákuummérők gyártmányok jellemzői | 91 |
| Tömegspektrométerek | 97 |
| Áram- és feszültségmérő műszerek | 102 |
| Műszerek a hőmérséklet mérésére és szabályozására | 103 |
| Vákuumszivattyúk | 105 |
| A vákuumszivattyúk csoportosítása, jellemzése | 105 |
| A vákuumszivattyúk csoportosítása | 105 |
| A vákuumszivattyúk jellemzése | 107 |
| A vákuumszivattyúk működési elve, szerkezeti felépítése, üzemi jellemzői | 109 |
| Mechanikus vákuumszivattyúk | 109 |
| Soklapátos (többcellás) forgórészű szivattyúk | 109 |
| Olajtömítésű forgószivattyúk | 110 |
| Roots vákuumszivattyúk | 118 |
| Fluidumsugár-vákuumszivattyúk | 120 |
| Ejektor-vákuumszivattyúk | 120 |
| Diffúziós gőzsugár-vákuumszivattyúk | 121 |
| Olajmentes vákuumszivattyúk | 130 |
| Turbomolekuláris vákuumszivattyúk | 130 |
| Adszorbciós szivattyúk | 133 |
| Elektrofizikai elven működő vákuumszivattyúk | 135 |
| Krioszivattyúk | 142 |
| A vákuumrendszerek szerkezeti felépítése | 145 |
| A vákuumrendszer fogalma és fajtái | 145 |
| A vákuumrendszerek elemei | 146 |
| A csapdák | 146 |
| Záró-, szabályozókészülékek | 148 |
| Segédelemek | 151 |
| A vákuumrendszerek elemeinek oldhatatlan és oldható kötései | 152 |
| Oldhatatlan kötések | 152 |
| Oldható kötések | 154 |
| A vákuumrendszerek szerkezeti anyagai | 157 |
| Fémek és ötvözetek a vákuumrendszerek elemei számára | 157 |
| A fémekkel és ötvözetekkel szembeni követelmények | 157 |
| A fémek és ötvözetek jellemzői | 159 |
| A vákuumrendszerek elemeinek nemfémes anyagai | 161 |
| Az elektródcsövek vákuumszívatásának technológiai folyamata | 166 |
| A vákuumszívás fogalma | 166 |
| Az elektroncsövek vákuumszívatása szivattyúállásokon | 167 |
| Az elektroncsövek szivattyúállásokon végzett szívócsöves vákuumszívatásának sajátosságai | 167 |
| Az oxidkatód kigázosításának és aktiválásának sajátosságai | 168 |
| A vákuumszívatási folyamat ellenőrzése | 172 |
| Az elektroncsövek szívócső nélküli és kamrás vákuumszívatása | 175 |
| A nagy teljesítményű generátortrióda vákuumszívatásának sajátosságai | 178 |
| Az elektroncsövek szívatása vákuum-szívatóberendezéseken | 178 |
| A vevőerősítő (PUL) csövek vákuumszívatása | 179 |
| A közepes teljesítményű generátorcsövek vákuumszívatása | 182 |
| Az elektronsugár- (ELT) csövek vákuumszívatása | 183 |
| A gázkisüléses csövek vákuumszívatása | 184 |
| A szívatási selejt alapvető fajtái és megelőzésük módjai | 185 |
| A fém-kerámia és fém-üveg kivitelű elektroncsövek szívatása | 189 |
| Az evakuált elektroncsövek hermetikus lezárásának módozatai | 190 |
| A hermetikus lezárás módozatai szívócsöves vákuumszívatás esetén | 190 |
| A hermetikus lezárás módozatai szívócső nélküli vákuumszívatás esetén | 193 |
| Vákuumberendezések és azok karbantartása | 195 |
| A vákuumkemencékkel szembeni általános követelmények | 195 |
| A vákuumberendezések fajtái és azok rendeltetése | 198 |
| A vákuumberendezések fajtái | 198 |
| Szivattyúállomások | 199 |
| A vákuum-szívatógépek | 204 |
| Vákuumkemencék | 207 |
| A szivattyúállások alapegységeinek felépítése | 207 |
| A szivattyúállások vákuumtechnológiai sémái | 207 |
| A technológiai kamra | 209 |
| Kapcsoló- és vezérlőpult | 211 |
| Hermetikus tömítés, vákuumzárás | 212 |
| A vákuumberendezések és az elektroncsövek hermetikus tömítésével kapcsolatos követelmények | 212 |
| A szivárgás meghatározása | 213 |
| A vákuumzárás ellenőrzésének módszerei | 217 |
| A vákuumzárás ellenőrzésének módszerei a vákuumberendezések és elektroncsövek összeszerelése és vákuumszívatása folyamán | 217 |
| A leforrasztott elektroncsövek hermetikus tömítésének ellenőrzési módszerei | 220 |
| Az elektronikai ipar biztonságtechnikája | 221 |
| Általános szabályok, előírások | 221 |
| Intézkedések a balesetek és munkahelyi sérülések megakadályozására | 222 |
| Az elektronikai termékek vákuumszívatása során teendő biztonságtechnikai intézkedések | 224 |
| Védőeszközök és a helyiségek osztályba sorolása | 225 |
| A balesetek esetén alkalmazandó elsősegély | 226 |
| Biztonságtechnikai előírások gázok használata esetén, elsősegélynyújtás | 228 |
| Tűzvédelmi intézkedések | 230 |
| A munka szervezése és a műszaki esztétika a gyártásban | 233 |
| A munka szervezése | 233 |
| A munkakörülmények egészségügyi tényezői | 234 |
| Műszaki esztétika a gyártásban | 235 |
| Függelék | 237 |
| Alapfogalmak, vákuumtechnikai mennyiségek és mértékegységek | 239 |
| A vákuum fogalma, vákuumtartományok | 239 |
| A nyomással kapcsolatos fogalmak | 241 |
| A gázáramlással kapcsolatos mennyiségek | 242 |
| A vákuumtechnikai mennyiségek mértékegységeinek átszámítási tényezői | 252 |
| Anyagjellemzők | 264 |
| Vákuumtechnikai rajzjelek | 286 |
| Vákuumtechnikai berendezéseket gyártó cégek | 294 |
| A vákuumtechnikával kapcsolatos szabványok | 305 |
| Irodalom | 308 |
| Tárgymutató | 313 |