1.035.028
kiadvánnyal nyújtjuk Magyarország legnagyobb antikvár könyv-kínálatát
Elektroncsövek és félvezetők technológiája 73/2
Fotolitográfia alkalmazása a félvezetőtechnológiában
| Kiadó: | Egyesült Izzólámpa és Villamossági Rt. Műszaki Tájékoztató Osztálya |
|---|---|
| Kiadás helye: | |
| Kiadás éve: | |
| Kötés típusa: | Tűzött kötés |
| Oldalszám: | 65 oldal |
| Sorozatcím: | Elektroncsövek és félvezetők technológiája |
| Kötetszám: | |
| Nyelv: | Magyar |
| Méret: | 20 cm x 14 cm |
| ISBN: | |
| Megjegyzés: | Kézirat. Fekete-fehér ábrákkal illusztrált. Megjelent 300 példányban. |
Értesítőt kérek a kiadóról
Értesítőt kérek a sorozatról
A beállítást mentettük,
naponta értesítjük a beérkező friss
kiadványokról
naponta értesítjük a beérkező friss
kiadványokról
A beállítást mentettük,
naponta értesítjük a beérkező friss
kiadványokról
naponta értesítjük a beérkező friss
kiadványokról
Előszó
A modern félvezetőtechnológiák szinte kizárólag fotolitográfiai módszerekkel alakítják ki a félvezetőelemek finomstrukturáit.Így pl. a planártechnika a félvezetőelemek szerkezeti felépítését több... Tovább
Előszó
A modern félvezetőtechnológiák szinte kizárólag fotolitográfiai módszerekkel alakítják ki a félvezetőelemek finomstrukturáit.Így pl. a planártechnika a félvezetőelemek szerkezeti felépítését több (esetenként 5-6) fotosablon, un. "maszk" alkalmazásával oldja meg.
A fotolitográfia gyüjtőfogalom alatt nemcsak a félvezetőkristályon végzett műveleti lépéseket értjük, hanem ide soroljuk az ábrák, rajzok, maszkok, kópiák készítésének műveleteit, továbbá azokat a különleges kémiai műveleteket is, amelyek az alkalmazott fényérzékeny műanyag-filmmel kapcsolatosak.
Vázlatosan megadjuk egy oxidált sziliciumszeleten végzett műveletek sorát, amelyeknek célja az un. planártechnikai bázisablaknyitás (1. ábra). Vissza
Tartalom
Bevezetés 5Maszkgyártás 8
A fotomaszk-készítés műveletei 8
A nagyított alaprajz előállítása 10
Ábrakészítési módszerek 11
A első redukciós kép előállítása 12
A "Step and Repeat" fotosokszorosítási eljárás 14
A fotomaszk-készítés berendezései 19
A nagyított ábra előállításához használt berendezés 19
Első redukciós kamera 20
Step and Repeat berendezések 22
Mérőmikroszkóp maszkok ellenőrzésére 26
Króm-üveg-maszkok előállítása 27
Fotorezisztanyagok tulajdonságai 29
Fényérzékenység 30
Filmképzősajátság és tapadóképesség 33
A rezisztfilm tapadása 36
A fotorezisztfilmek felbontóképessége 37
Rezisztencia oldószerekkel szemben 38
A rezisztfilm használat utáni eltávolítása 39
A rezisztek kémiai tisztasága 39
A fotolitográfia alkalmazásai 42
A fotolitográfia alkalmazásához szükséges klimatizáció 42
Fotolitográfiai másolás krómozott üveglemezen 42
Rezisztoldatok és -filmek vizsgálata 44
A viszkozitás ellenőrzése 44
A rezisztfilm folytonosságának ellenőrzése 47
Fotolitográfiai műveletek a planár- és mezatechnológiában 48
A maszkátmásolás műveletei 48
A sziliciumdioxid maratási művelete 55
A rezisztfilm eltávolítása 56
Szilicium maratása 57
Aluminium maratása 57
Speciális eljárások a fotolitográfiában 59
A rezisztfilm alkalmazása elektronoptikai megvilágítással 59
Projekciós maszkillesztés 60
Fémmaszkok készítése fotolitográfiai úton 62
Fémmaszk-készítés maratási eljárással 62
Galvanikus eljárás 63
Témakörök
Zanati Tibor
Zanati Tibor műveinek az Antikvarium.hu-n kapható vagy előjegyezhető listáját itt tekintheti meg: Zanati Tibor könyvek, művekMegvásárolható példányok
Nincs megvásárolható példány
A könyv összes megrendelhető példánya elfogyott. Ha kívánja, előjegyezheti a könyvet, és amint a könyv egy újabb példánya elérhető lesz, értesítjük.